Mevrouw en meneer Kooi,
Dames en heren,
Het is geen toeval, dat de Technische Universiteit Delft bij gelegenheid van haar eerste Dies Natalis in de nieuwe eeuw een eredoctoraat verleent aan iemand, die een essentiële bijdrage heeft geleverd aan de ontwikkeling van een technologie, die niet alleen in de vorige eeuw belangrijke maatschappelijke veranderingen heeft veroorzaakt, maar ook in de nieuwe eeuw aan de wieg staat van een veelheid van ontwikkelingen, waarvan we thans slechts vagelijk de contouren kunnen zien in de vorm van internet, mobiele communicatie en multimedia. Ik doel hier natuurlijk op de micro-elektronica.
De basis van dit vakgebied werd gelegd in 1948 met de uitvinding van de eerste transistor en in 1958 met de uitvinding van het eerste geïntegreerde circuit, IC of chip zo u wilt. Onderzoekers bij Philips realiseerden zich al snel het potentiële belang van deze vindingen en het was dan ook niet verrassend, dat in 1958 Kooi als jong afgestudeerd chemicus de groep van Tummers kwam versterken door onderzoek te doen aan het gebruik van silicium-nitride als maskering voor de oxidatie van silicium. Dit werk heeft in 1966 geleid tot een belangrijk patent, het zogenaamde LOCOS patent, Local Oxydation of Silicon. Het patent beschrijft een procedure om uiterst kleine elektrisch geïsoleerde eilandjes op een schijfje silicium te definieren, waarin dan vervolgens de afzonderlijke transistoren worden vervaardigd. Deze methode bleek onontbeerlijk om eerst duizenden, toen honderdduizenden en vervolgens miljoenen transistoren op een chip te integreren. In de 70-er en 80-er jaren was LOCOS voor Philips dan ook het belangrijkste technologische patent op het gebied van de halfgeleiders. De vinding werd dan ook door alle IC fabrikanten overgenomen en ook thans nog worden IC’s met minimale dimensies groter dan 0.25 micron volgens het LOCOS procédé gemaakt. Totaal ligt de vinding aan de basis van een wereldwijde IC omzet van 150 miljard dollar. Samen met enige basisuitvindingen op ontwerpgebied heeft LOCOS ervoor gezorgd, dat Philips een belangrijke wereldwijde halfgeleiderproducent is geworden en plukken we hiervan nationaal belangrijke vruchten, ook in de vorm van spin-offs, zoals ASM Lithografie, en een veelheid van hightech toeleveringsbedrijven.
Na de academische promotie in Eindhoven, waarbij Tummers promotor was, werd Kooi bevorderd tot groepsleider op het NatLab en vervolgens tot adjunct-directeur van de chemische hoofdgroep. Maar zijn drang naar pionierschap en zijn leiderschap in de micro-elektronica bracht hem ertoe om een nieuwe uitdaging te aanvaarden. In 1978 werd Kooi oprichter en directeur van het Philips Research Lab. in Sunnyvale, Verenigde Staten. Dit onderzoekslaboratorium richtte zich geheel op de halfgeleiders en vormde voor Philips al snel een belangrijke toegangspoort tot de vele nieuwe ontwikkelingen in Silicon Valley.
Na zijn pensionering in 1986 bekleedde Kooi diverse adviserende functies voor de Nederlandse overheid en is hij bijzonder hoogleraar aan Stanford University. Toen was er ook meer tijd voor contacten met de Nederlandse universiteiten. Daar kwam ook het talent van Kooi naar voren om een nieuwe generatie onderzoekers te boeien voor het vak micro-elektronica. Het is dan ook niet verwonderlijk, dat jaarlijks in overleg met Kooi een deel van het saldo van een conferentie, die in 1995 door DIMES, MESA en Philips Research georganiseerd werd, besteed wordt aan de naar hem genoemde Else Kooi Prijs ter stimulering van jonge wetenschappers op het gebied van de toegepaste micro-elektronica.
Else Kooi, ik verzoek u thans met uw paranimfen nader te treden, teneinde het diploma in ontvangst te nemen en u te laten bekleden met de doctorskappa.